主要特点
在太阳能电池电极优化中，接触电阻是需要考量的一个重要方面。 接触电阻的大小不仅与接触的图形有关 ，还与扩散工艺及烧结工艺有关。测量接触电阻率可以反映扩散、电极制作、烧结等工艺中存在的问题。
该检测设备共计 2 种测试功能，可切换使用：1、接触电阻率测试；2、线电阻测试。
智能视觉定位
基于高分辨率工业相机和视觉算法的控制系统，可以智能实现对栅线的精准定位，视觉识别，自动下压测试，极大简化测试步骤，提高测试效率。
多测头实现随心所欲地测量与分析
针对客户应用需求的不断变化，美能提供完全定制化的服务。通过合理的探头布局、间距和型号选择，可以实现不同工艺样品的全方位、高精度的控制和分析。
XYZ三轴运动控制系统
XYZ三轴运动控制系统采用三自由度直线运动设计，由三个独立的线性驱动器组成，实现X、Y、Z、方向的精准运动控制。
X、Y轴：X、Y轴自动平台最大行程兼容至250 x 250mm，可以实现全自动多点扫描，绘制完整的样品电阻分布图。
Z轴：采用精密电动位移轴，程序控制探针下压量，控制精度高达5mm，保护栅线表面形貌，提高测量精度。
多测试平台
TLMSTD检测设备共计2种测试平台、可切换使用：
接触电阻测试平台：用于测试接触电阻，薄层电阻，接触电阻率等参数，共计22个小分格，每个分格可放置宽4~10mm，长250mm的切割电池片，平台对应有真空吸附装置，保证样品定位可靠。
线电阻平台：载物台尺寸250×250mm，搭配定制探头，完成不同规格尺寸的线电阻测试需求。
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