主要特点
◇ 测试仪自检功能
◇ 测量位置校正功能
◇ 宽测量范围（最小0.1mm测量分辨率）
◇ 用户可编程测试模式
◇ 玻璃基板定位（搜索）功能
◇ 主机（CIM）通信接口
◇ 配备二维/三维映射分析软件
测试范围： 1m~10M Ω/sq
应用领域：
◇ 导电薄膜（金属、氧化铟锡（ITO）等）
◇ 硅基薄膜（低温多晶硅（LTPS）等）
◇ 氧化物半导体（IGZO 等）
2025/06/27
四探针薄膜测厚技术 | 平板显示FPD制造中电阻率、方阻与厚度测量实践
技术支持：400 992 6602平板显示（FPD）制造过程中，薄膜厚度的实时管理是确保产品质量的关键因素。传统方法如机械触针法、显微法和光学法存在破坏
